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Preforma Uniflash金属栅系列产品采用中微公司独创的双反应台设计,系统可灵活配置多达五个双反应台反应腔,满足高真空系统工艺集成需求的同时实现业界领先的生产效率。该系列产品搭载中微公司独有的多级匀气混气系统,融合基于模型算法的加热系统设计,以及可实现高效原子层沉积反应的反应腔流导设计等核心技术,不仅能满足先进逻辑客户的性能需求,其设备在薄膜均一性、污染物控制能力及生产效率方面均达到世界先进水平。
外延设备方面,中微公司推出的双腔减压外延设备 PRIMIO Epita RP,作为目前市场上独有的双腔设计外延减压设备,其反应腔体积为全球最小,且可灵活配置多至6个反应腔,在显着降低生产成本与化学品消耗的同时,实现了高生产效率。该设备搭载拥有完全自主知识产权的双腔设计、多层独立控制气体分区,以及具备多个径向调节能力的温场和温控设计,确保了优秀的流场与温场均匀性及调节能力。凭借卓越的工艺适应性和兼容性,该设备可满足从成熟到先进节点的逻辑、存储和功率器件等多领域外延工艺需求。
中微公司表示,随着半导体技术的迭代升级,等离子体刻蚀、原子层沉积及外延等技术的应用需求持续攀升。公司近日推出六款半导体设备新产品,覆盖等离子体刻蚀、原子层沉积及外延等关键工艺,可进一步满足客户需求,拓展公司产品布局,为加速向高端设备平台化公司转型注入新动能,对公司未来半导体设备市场拓展和业绩成长性预计都将产生积极的影响。
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